东莞市至成真空科技有限公司
真空镀膜设备 , 中频离子镀膜设备 , 多弧离子镀膜设备等
北京真空镀膜机
发布时间:2020-07-03










影响镀膜机磁控靶点火电压的几个因素


气体压力对点火电压的影响:在磁控靶溅射镀膜工艺过程中,由于磁控靶的阴-阳极间距一经确定就是一个大体不变的值,工作气体的压力在一定的(例如0.1Pa~10Pa)范围内变化可能会对点火电压产生较大的影响,总的变化趋势为:随着工作气体的压力的逐步增大,磁控靶点火电压相应降低。不同的磁控靶、不同材质的靶材,靶启辉点火的工作气体压强不尽相同。

电源对点火电压的影响:在同等条件下,选用射频靶电源比选中频或直流靶电源,磁控靶阴极点火电压和工作(溅射)电压都会要降低;选用射频、中频正弦半波或脉冲靶电源,比选低频率同类波形靶电源,阴极点火电压和工作(溅射)电压均会要降低;



真空镀膜设备维护和保养方法:


(1)真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。

方法是:用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

(2)当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。

方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。


五金装饰膜离子镀膜机有哪些特点


该设备是一种、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。五金装饰膜离子镀膜机是一种、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。

真空电弧离子镀膜的原理是基于冷阴极自持弧光放电等离子体蒸发、电离镀料,结合脉冲偏压技术,提高沉积粒子能量和活性,增强膜层的各项性能。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面上进行镀膜;可以镀金属膜,氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬及镍、铬、铜等化合物膜、多层超硬膜、多元化合物膜,还可以镀氮化钛掺金膜等。电弧离子镀膜广泛应用于工具、模具的超硬涂层,汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。

至成镀膜机厂家着力改进圆形电弧蒸发源,同时着力开发矩形平面电弧蒸发源,均已装配新机。



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