国内真空镀膜机械的发展

我国镀膜市场一直在扩大需求，行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备，这些设备工艺技术比较高，可靠性强，价钱也非常之高，不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平，使之达到发达国家水平；

国内的真空设备也相对引进先进技术取得了巨大进步，真空镀膜设备已经达到较高水准，完全能够满足一般企业的需求，部分实力厂家产品更是销往全球，譬如汇成真空。

整个镀膜行业被物理和化学镀膜占据，他们的发展左右着我国整个镀膜行业的发展，而随着环保的提倡，化学镀膜渐渐减少，环保物理镀膜占据更多江山，镀膜真空设备成为了这个行业发展的指标，政策对环保设备的大力支持未来真空设备的发展将更加广阔。

真空镀膜机和蒸发真空镀膜机的差异

真空镀膜机是在中间设置真空室，在真空室的左右两侧设置左右大门，而在其中配装蒸发装置和磁控装置，可在该双门上预留该两装置的接口，以备需要时换装。真空镀膜机一般都是由真空系统、蒸发系统、薄膜卷绕系统、冷却系统、控制系统等主要部分组成。

当薄膜运行速度达到一定数值后，打开挡板使气态铝微粒在移动的薄膜基材表面沉积、冷却即形成一层连续而光亮的金属铝层。

通过控制金属铝的蒸发速度、基材薄膜的移动速度等来控制镀铝层的厚度，一般镀铝层厚度在250～500。而蒸发真空镀膜机是专业在塑料表面进行蒸发镀铝、鉻、一氧化硅的专用设备，镀出的膜层牢固且细密，是工业化生产的理想设备，其特点是它的环保性，真空镀膜设备属于无三废、无污染的清洁生产设备，无须审批。分为立式和卧式。

蒸发真空镀膜设备成膜速率快，膜层牢固，色泽鲜亮，膜层不易受污染，可获得致密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层，不产生废液、废水，可避免对环境的污染，是大规模生产的理想设备。离子真空镀膜机是当今世界上用于表面涂装PVD膜层的先进专用设备,运用PLC及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作,设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话，简便。

真空镀膜设备背压检漏法

背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，真空镀膜设备中多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。

其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。

(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。

(2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。

如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。

在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。

(3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。

抽真空后由于压差作用，示漏气体即可通过漏孔从被检件内部流出，然后再经过真空室进入检漏仪，按检漏仪的输出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。